退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:polierkissen konturenanzeiger用于机械或化学机械抛光。
公开/公告号AT216645T
专利类型
公开/公告日2002-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;
申请/专利号AT19970909938T
发明设计人 HENDERSON GARY O.;
申请日1997-10-03
分类号B24B37/04;B24D13/14;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 00:42:10
机译: polierkissen konturenanzeiger用于机械或化学机械抛光。
机译: 化学机械抛光和化学机械抛光操作
机译: 用于在化学-机械抛光中减少抛光金属表面氧化的设备和方法。