机译:旋转对称石英玻璃坩埚的生产方法和装置
公开/公告号WO0204368A1
专利类型
公开/公告日2002-01-17
原文格式PDF
申请/专利权人 HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO. LTD.;LEIST JOHANN;GÖBEL ROLF;FRITZ HELMUT;
申请/专利号WO2001EP07858
申请日2001-07-09
分类号C03B19/09;
国家 WO
入库时间 2022-08-22 00:37:51