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Light Modulator and Method for Manufacturing the Same

机译:光调制器及其制造方法

摘要

PURPOSE: An optical modulator is provided to solve a fixation problem of an upper layer and a lower layer such that the fixation problem occurs in eliminating a sacrificial layer by using a supporting beam, and to remarkably increasing a rotating displacement by adopting a seesaw structure using a lever rule. CONSTITUTION: A lower electrode(11) is formed on a substrate(10). An upper electrode structure(12) is vertically separated from the lower electrode, capable of rotating. A rotating displacement structure(15) can be rotated by the rotation of the upper electrode structure. The first and second lower supporting beams(13,14) support the upper electrode structure and the rotating displacement structure, respectively.
机译:用途:提供一种光调制器,以解决上层和下层的固定问题,从而在使用支撑梁消除牺牲层时发生固定问题,并通过采用一种跷跷板结构显着增加旋转位移杠杆规则。组成:下部电极(11)形成在基板(10)上。上部电极结构(12)与下部电极垂直分离,并且能够旋转。旋转位移结构(15)可以通过上部电极结构的旋转而旋转。第一和第二下部支撑梁(13,14)分别支撑上部电极结构和旋转位移结构。

著录项

  • 公开/公告号KR20020028565A

    专利类型

  • 公开/公告日2002-04-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HERA SYSTEM CO. LTD.;

    申请/专利号KR20000059625

  • 发明设计人 LEE YONG GEUN;

    申请日2000-10-10

  • 分类号H01L31/14;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 00:31:14

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