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Apparatus for producing barrier layers for gaseous and / or liquid substances on substrates, in particular plastic substrates, by means of a plasma-assisted chemical vapor deposition in a vacuum treatment chamber

机译:用于通过在真空处理室中的等离子体辅助化学气相沉积在基板,特别是塑料基板上产生用于气态和/或液态物质的阻挡层的设备

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE20112984U1

    专利类型

  • 公开/公告日2001-12-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG;

    申请/专利号DE2001212984U

  • 发明设计人

    申请日2001-08-13

  • 分类号C23C16/40;C23C16/26;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 00:26:35

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