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公开/公告号JP2003203994A
专利类型
公开/公告日2003-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP20020256797
申请日2002-09-02
分类号H01L21/8246;G11C17/00;G11C17/08;G11C17/12;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/112;H01L29/786;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 00:18:48