机译:利用波长比紫外线短的紫外线或光束精加工材料表面的方法和装置,以及利用这些方法和装置制造高聚物化合物的产品的方法和装置
公开/公告号JP2003236798A
专利类型
公开/公告日2003-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 KANSAI TLO KK;
申请/专利号JP20020039595
发明设计人 TABATA OSAMU;
申请日2002-02-18
分类号B81C1/00;B81C5/00;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 00:18:42