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Non-c-axis oriented bismuth-layered perovskite ferroelectric structure epitaxially grown on buffered silicon

机译:外延生长在缓冲硅上的非c轴取向铋层钙钛矿铁电结构

摘要

A structure containing a ferroelectric material comprises a substrate comprising silicon, a buffer layer formed on the substrate, and a non-c-axis-oriented, electrically-conductive template layer formed on the buffer layer. The template layer comprises a perovskite oxide compound. A non-c-axis-oriented, anisotropic perovskite ferroelectric layer is formed on the template layer.
机译:包含铁电材料的结构包括:包含硅的衬底,在该衬底上形成的缓冲层以及在该缓冲层上形成的非c轴取向的导电模板层。模板层包含钙钛矿氧化物化合物。在模板层上形成非c轴取向的各向异性钙钛矿铁电层。

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