公开/公告号US2003203521A1
专利类型
公开/公告日2003-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 KOHNO RYUJI;KUMAZAWA TETSUO;KITANO MAKOTO;ARIGA AKIHIKO;WADA YUJI;BAN NAOTO;SHIBUYA SHUJI;MOTOYAMA YASUHIRO;MATSUMOTO KUNIO;KASUKABE SUSUMU;MORI TERUTAKA;SHIGI HIDETAKA;WATANABE TAKAYOSHI;
申请/专利号US20030411283
发明设计人 RYUJI KOHNO;TETSUO KUMAZAWA;MAKOTO KITANO;AKIHIKO ARIGA;YUJI WADA;NAOTO BAN;SHUJI SHIBUYA;YASUHIRO MOTOYAMA;KUNIO MATSUMOTO;SUSUMU KASUKABE;TERUTAKA MORI;HIDETAKA SHIGI;TAKAYOSHI WATANABE;
申请日2003-04-11
分类号H01L21/66;H01L21/301;H01L21/46;H01L21/78;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:08:07