公开/公告号US7198962B2
专利类型
公开/公告日2007-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 RYUJI KOHNO;TETSUO KUMAZAWA;MAKOTO KITANO;AKIHIKO ARIGA;YUJI WADA;NAOTO BAN;SHUJI SHIBUYA;YASUHIRO MOTOYAMA;KUNIO MATSUMOTO;SUSUMU KASUKABE;TERUTAKA MORI;HIDETAKA SHIGI;TAKAYOSHI WATANABE;
申请/专利号US20030411283
发明设计人 TAKAYOSHI WATANABE;SHUJI SHIBUYA;YASUHIRO MOTOYAMA;KUNIO MATSUMOTO;TERUTAKA MORI;RYUJI KOHNO;YUJI WADA;NAOTO BAN;TETSUO KUMAZAWA;MAKOTO KITANO;AKIHIKO ARIGA;SUSUMU KASUKABE;HIDETAKA SHIGI;
申请日2003-04-11
分类号G01R31/26;H01L21/66;H01L21/00;H01L21/48;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:00:44