首页> 外国专利> Method of extracting parameters of diffusion model capable of extracting the parameters quickly

Method of extracting parameters of diffusion model capable of extracting the parameters quickly

机译:能够快速提取参数的扩散模型参数的提取方法

摘要

In a method of extracting parameters of a diffusion model from object parameters to be used in a process simulation of a semiconductor manufacturing process, classifying the object parameters into a first through an N-th (N being a natural integer not smaller than 2) groups, the first group being used for classifying thereinto the most fundamental physical and least model-dependent parameters, the N-th group being used for classifying thereinto the least fundamental physical and most model-dependent parameters, and extracting successively the classified parameters in the first through the N-th groups in the order from the first to the N-th group.
机译:在从要在半导体制造过程的过程仿真中使用的对象参数中提取扩散模型的参数的方法中,将对象参数分类为第一到第N个(N是不小于的自然整数) 2 )组,第一个组用于将其分类为最基本的物理参数和与模型无关的参数,第N组用于将其分类为最基本的物理参数和与模型无关的参数,并提取从第一组到第N组的顺序依次对第一组到第N组中的分类参数进行排序。

著录项

  • 公开/公告号US6577993B1

    专利类型

  • 公开/公告日2003-06-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NEC CORPORATION;

    申请/专利号US19990386304

  • 发明设计人 HIRONORI SAKAMOTO;

    申请日1999-08-31

  • 分类号G06F175/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 00:04:13

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号