公开/公告号JP2004040003A
专利类型
公开/公告日2004-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP;
申请/专利号JP20020198084
发明设计人 SEKI HIROBUMI;HASHIMOTO ISAO;NATSUI KENICHI;ITO JUNYA;TOKIKUCHI KATSUMI;MERA KAZUO;BANDO AKIRA;SEKI TAKAYOSHI;
申请日2002-07-08
分类号H01L27/12;H01J27/16;H01J37/04;H01J37/08;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 23:26:22