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【2h】

Improved noise performance of ion-implanted MESFET devices by optimised pre and post implant wafer annealing.

机译:通过优化植入前和植入后晶圆退火,改善了离子植入MESFET器件的噪声性能。

摘要

In this article we illustrate how the noise performance of ion-implanted MESFET devices can be appreciably improved by means of optimised pre and post implant annealing cycle. With this technique the 12 GHz noise figure of 0.5x300 um devices is reduced from 2.7 dB to 1.8 dB.
机译:在本文中,我们说明了如何通过优化的注入前和注入后退火周期,明显改善离子注入MESFET器件的噪声性能。使用此技术,0.5x300 um器件的12 GHz噪声系数从2.7 dB降低到1.8 dB。

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