公开/公告号US6803605B2
专利类型
公开/公告日2004-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 COMLASE AB;
申请/专利号US20020218497
发明设计人 LAUERANT KRUMMENACHER;CARL-FREDRIK CARLSTROM;N. PETER BLIXT;SVANTE H. SODERHOLM;L. KARSTEN V. LINDSTROM;CHRISTOFER SILVENIUS;ANAND SRINIVASAN;
申请日2002-08-15
分类号H01L330/00;H01L50/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:20:11