公开/公告号US6773571B1
专利类型
公开/公告日2004-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 NOVELLUS SYSTEMS INC.;
申请/专利号US20020154082
发明设计人 STEVEN T. MAYER;EVAN E. PATTON;JONATHAN D. REID;HAROLD D. PERRY;BRIAN PAUL BLACKMAN;THOMAS ANAND PONNUSWAMY;
申请日2002-05-22
分类号C25D50/00;C25B90/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:16:34