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Charge pump or other charge storage capacitor including PZT layer for combined use as encapsulation layer and dielectric layer of ferroelectric capacitor and a method for manufacturing the same

机译:包括PZT层作为铁电电容器的封装层和介电层的电荷泵或其他电荷存储电容器及其制造方法

摘要

A charge storage capacitor includes a bottom electrode, a dielectric layer formed on the bottom electrode, and a local interconnect electrode formed on the dielectric layer, wherein the dielectric layer is an encapsulation layer, and a ferroelectric memory cell includes the charge storage capacitor.
机译:电荷存储电容器包括底部电极,形成在该底部电极上的介电层,以及形成在该介质层上的局部互连电极,其中该介电层是封装层,并且铁电存储单元包括该电荷存储电容器。

著录项

  • 公开/公告号US2004033630A1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-02-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FOX GLEN;EVANS THOMAS;

    申请/专利号US20030620681

  • 发明设计人 GLEN FOX;THOMAS EVANS;

    申请日2003-07-15

  • 分类号H01L21/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 23:16:14

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