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Patterning method, patterning apparatus, patterning template, and method for manufacturing the patterning template

机译:构图方法,构图设备,构图模板以及构图模板的制造方法

摘要

A template 1 is brought close to or in contact with a surface to be patterned 111 and patterns are formed with liquid 62 on the surface 111. This method comprises the steps of: bringing the template 1 close to or essentially in contact with the surface 111, supplying liquid 62 to a plurality of through holes 12 established in the pattern transfer region 10 of the template 1 for supplying the liquid 62, and separating the template 1 from the surface 111 after the liquid 62 is adhered to the surface 111 via the through holes 12.
机译:使模板 1 靠近或与要构图的表面 111 接触,并在表面 62 形成图案。 > 111 。该方法包括以下步骤:使模板 1 靠近或基本上与表面 111 接触,将液体 62 供应到多个在模板 1 的图案转印区域 10 中建立的通孔 12 ,用于供应液体 62 ,并进行分离液体 62 通过通孔 111 从表面 111 附着到模板 1 B> 12。

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