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Methods of Patterning Magnetic Thin Films with Block Copolymer Templating

机译:用嵌段共聚物模板对磁性薄膜进行构图的方法

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摘要

Increasing the areal density of magnetic hard disk drives has drawn considerable research interest in the last several years. Industry expects that the upper limit of areal density of current granular media storage methods is reached when the grain size becomes small enough to begin losing thermal stability. In this dissertation, we examined methods to fabricate a patterned media that will achieve high areal density without sacrificing thermal stability. We first examined using different block copolymers to template a pattern onto a magnetic thin film. We then tried to improve the patterning and size tuning the nanospheres using different methods of processing the block copolymer. We further examined using the block copolymers to fabricate a hard mask with different materials, and we examined using a powerful method to examine the switching behavior of the patterned magnetic films.
机译:在最近几年中,磁性硬盘驱动器的面密度的增加引起了相当大的研究兴趣。工业界期望当晶粒尺寸变得足够小以开始失去热稳定性时,达到当前颗粒介质存储方法的面密度的上限。在本文中,我们研究了制造图案化介质的方法,该介质将在不牺牲热稳定性的情况下实现较高的面密度。我们首先检查了使用不同的嵌段共聚物将图案模板化到磁性薄膜上的方法。然后,我们尝试使用不同的嵌段共聚物加工方法来改善纳米球的图案和尺寸调整。我们进一步检查了使用嵌段共聚物制造具有不同材料的硬掩模的方法,并检查了使用有效方法检查图案化磁性膜的开关行为的方法。

著录项

  • 作者

    Owen, Allen Glover.;

  • 作者单位

    The University of Alabama.;

  • 授予单位 The University of Alabama.;
  • 学科 Engineering.
  • 学位 Ph.D.
  • 年度 2017
  • 页码 93 p.
  • 总页数 93
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-17 11:38:55

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