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PATTERNING METHOD, PATTERNING APPARATUS, PATTERNING TEMPLATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE PATTERNING TEMPLATE

机译:加样方法,加样装置,加样模板以及制造加样模板的方法

摘要

A template 1 is brought close to or in contact with a surface to be patterned 111 and patterns are formed with liquid 62 on the surface 111. This method comprises the steps of: bringing the template 1 close to or essentially in contact with the surface 111, supplying liquid 62 to a plurality of through holes 12 established in the pattern transfer region 10 of the template 1 for supplying the liquid 62, and separating the template 1 from the surface 111 after the liquid 62 is adhered to the surface 111 via the through holes 12. IMAGE
机译:使模板1接近或与要图案化的表面111接触,并且在表面111上用液体62形成图案。该方法包括以下步骤:使模板1接近或基本上与表面111接触。然后,将液体62供给到设置在模板1的图案转印区域10中的多个通孔12中,以用于供给液体62,并且在将液体62通过通孔粘附至表面111之后,将模板1与表面111分离。孔12.

著录项

  • 公开/公告号KR100586224B1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-06-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR19990019049

  • 申请日1999-05-26

  • 分类号H01L21/027;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 21:23:43

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