公开/公告号AU2003290093A1
专利类型
公开/公告日2004-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号AU20030290093
发明设计人 ALEXANDRA PAZIDIS;ALEXANDER DINGER;THURE BOHM;GERD REISINGER;RAINER BORRET;THOMAS PETASCH;AKSEL GOHNERMEIER;
申请日2003-12-18
分类号G02B1/10;G03F7/20;G02B3/04;C23C14/54;
国家 AU
入库时间 2022-08-21 23:01:49