公开/公告号WO2004057378A1
专利类型
公开/公告日2004-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;REISINGER GERD;PAZIDIS ALEXANDRA;GÖHNERMEIER AKSEL;DINGER ALEXANDER;PETASCH THOMAS;BÖHM THURE;BÖRRET RAINER;
申请/专利号WO2003EP14543
发明设计人 GÖHNERMEIER AKSEL;PAZIDIS ALEXANDRA;PETASCH THOMAS;DINGER ALEXANDER;BÖHM THURE;BÖRRET RAINER;REISINGER GERD;
申请日2003-12-18
分类号G02B1/10;G03F7/20;G02B3/04;C23C14/54;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:55:32