要解决的问题:提供一种钴掺杂的二氧化钛膜,该膜具有原子级的平坦表面并具有优异的结晶度,并且其铁磁性能可以自由控制。
解决方案:在基板11上形成二氧化钛膜12。接着,在二氧化钛膜12上形成掺杂有钴的二氧化钛膜13。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2005206890A
专利类型
公开/公告日2005-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 TOHOKU UNIV;
申请/专利号JP20040015502
发明设计人 KAWASAKI MASASHI;FUKUMURA TOMOAKI;OTOMO AKIRA;TOYOSAKI HIDEUMI;YAMADA YASUHIRO;ONO HIDEO;MATSUKURA FUMIHIRO;
申请日2004-01-23
分类号C23C14/08;H01F10/16;H01F41/22;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:31:19