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Support for the device microelectronics, micromechanics of micro or optoelectronic

机译:支持设备微电子,微电子或光电子的微机械

摘要

The present invention relates to a support for the manufacture of microelectronics devices, of micromechanics or micro-opto-electronics. The support; (10 60), a substrate having a function of backing element; comprises a (11 61), on which deposits a separate gas-absorbing material (13, 13 ', ...; 63, 63', ... is deposited in the form of) the deposit, the support (10; exposed at least partially to the atmosphere that exists around 60).
机译:用于制造微电子器件,微机械或微光电子器件的载体技术领域本发明涉及一种用于制造微电子器件,微机械或微光电子器件的载体。支撑; (10 60),具有衬底元件功能的基板;包括(11 61),在其上沉积单独的气体吸收材料(13、13',...; 63、63',...以沉积物的形式沉积),支撑物(10;暴露至少部分存在于大约60度的大气中)。

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