机译:检测装置,光程测定装置,光学部件评价方法,温度变化检测方法
公开/公告号JP3820411B2
专利类型
公开/公告日2006-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社物産ナノテク研究所;
申请/专利号JP20050512973
发明设计人 小川 憲介;
申请日2004-08-06
分类号G01M11/02;G01M11/00;G01J9/02;G01N21/45;G01B11/00;G01B9/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:52:00