公开/公告号WO2006092321A1
专利类型
公开/公告日2006-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;UNIVERSITÄT FREIBURG;SCHUBERT MARTIN;REIN STEFAN;ISENBERG JÖRG;WARTA WILHELM;GLUNZ STEFAN W.;
申请/专利号WO2006EP01962
申请日2006-03-03
分类号H01L21/268;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 21:29:33