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METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING A PARAMETER FOR A METALLIZATION BATH

机译:测定金属化浴参数的方法和装置

摘要

A method and device are provided for determining a parameter for the reproducible production of raised contact metallizations (24, 25) on terminal areas of a substrate. Metallization material is deposited in a metallization bath. A test substrate is employed having at least two terminal areas adjacent at a defined spacing. The substrate is introduced into the metallization bath (10) and the parameter is determined from the variation in an electrical quantity as a consequence of an electrical contact resulting to from the deposition of the metallization material for building up the contact metallizations (24, 25) on the adjacent terminal areas.
机译:提供了一种方法和设备,用于确定用于在基板的末端区域上可再现地产生凸起的接触金属化物(24、25)的参数。金属化材料沉积在金属化浴中。使用测试基板,该测试基板具有以限定的间隔相邻的至少两个端子区域。将衬底引入到金属化槽(10)中,并且根据电接触的结果由电学量的变化来确定参数,所述电接触是由于金属化材料的沉积而形成的,以建立接触金属化(24、25)在相邻的终端区域。

著录项

  • 公开/公告号KR100566149B1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-03-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20007001766

  • 发明设计人 게랄트모툴라;

    申请日2000-02-21

  • 分类号G01N27/04;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 21:24:02

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