公开/公告号SG128584A1
专利类型
公开/公告日2007-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号SG20060003921
发明设计人 KEMPER PETRUS WILHELMUS JOSEPHUS MARIA;NIHTIANOV STOYAN;KESSELS LAMBERTUS GERARDUS MARIA;REIJNEN MARTINUS CORNELIS;CHILOV KAMEN HRISTOV;MAKAROVIC ANDREJ;
申请日2006-06-08
分类号G03F7/20;G02B26/00;H01L21/00;
国家 SG
入库时间 2022-08-21 20:55:53