公开/公告号DE60218305D1
专利类型
公开/公告日2007-04-05
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申请/专利权人 LAIR LIQUIDE S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR LETUDE ET LEXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS;
申请/专利号DE2002618305T
发明设计人 LY CHUN-HAO;MOISAN MICHEL;DULPHY HERVE;ROSTAING JEAN-CHRISTOPHE;GUERIN DANIEL;LARQUET CHRISTIAN;
申请日2002-05-21
分类号C23C16/44;H05H1/30;B01D53/32;B01D53/68;B01D53/70;B01J19/08;B01J19/12;H01L21/205;H01L21/3065;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 20:27:49