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POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, POLYMER COMPOUNDS FOR USE IN THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, MANUFACTURING METHOD OF THE POLYMER COMPOUNDS, COMPOUNDS FOR USE IN THE MANUFACTURE OF THE POLYMER COMPOUNDS, AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION

机译:正性光敏组合物,用于正性光敏组合物的聚合物化合物,聚合物化合物的制造方法,用于聚合物化合物制造的化合物以及使用正性光敏性的图案形成方法

摘要

A positive photosensitive composition comprises: a polymer compound having an acid-decomposable structure on a terminal of the polymer compound; and a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic ray or radiation.
机译:一种正型光敏组合物,包括:在高分子化合物的末端具有酸可分解结构的高分子化合物;和以及在光化射线或放射线照射下能够产生酸的化合物。

著录项

  • 公开/公告号US2008085464A1

    专利类型

  • 公开/公告日2008-04-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AKINORI SHIBUYA;TAKAYUKI KATO;

    申请/专利号US20070857178

  • 发明设计人 AKINORI SHIBUYA;TAKAYUKI KATO;

    申请日2007-09-18

  • 分类号G03C1/73;C08G63/68;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 20:11:58

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