机译:正性光敏组合物,用于正性光敏组合物的聚合物化合物,聚合物化合物的制造方法,用于聚合物化合物制造的化合物以及使用正性光敏性的图案形成方法
公开/公告号US2008085464A1
专利类型
公开/公告日2008-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 AKINORI SHIBUYA;TAKAYUKI KATO;
申请/专利号US20070857178
申请日2007-09-18
分类号G03C1/73;C08G63/68;
国家 US
入库时间 2022-08-21 20:11:58