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Back end of line clone test vehicle

机译:线克隆测试车后端

摘要

A test vehicle comprises at least one product layer having a east one product circuit pattern on the product layer, and one or more clone layers formed over the product layer (1902). The one or more clone layers include a plurality of structures, which may include clone test vehicle circuit patterns and/or clone test vehicle vias (1902). The presence of one or more defects (1904) in the one or more clone layers (1908) is an indicator of a tendency of the product circuit pattern to impact yield of a succeeding layer to be formed over the product circuit pattern in a product (1910).
机译:一种测试工具,包括至少一个在产品层上具有东一个产品电路图案的产品层,以及在产品层( 1902 )上形成的一个或多个克隆层。一个或多个克隆层包括多个结构,其可以包括克隆测试载体电路图案和/或克隆测试载体通孔( 1902 )。一个或多个克隆层( 1908 )中存在一个或多个缺陷( 1904 )的迹象表明,产品电路图案会影响硅片的良率。在产品( 1910 )中的产品电路图案上形成后续层。

著录项

  • 公开/公告号US7395518B2

    专利类型

  • 公开/公告日2008-07-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DENNIS J. CIPLICKAS;CHRISTOPHER HESS;

    申请/专利号US20040504898

  • 发明设计人 CHRISTOPHER HESS;DENNIS J. CIPLICKAS;

    申请日2003-02-27

  • 分类号G06F17/50;G06F19/00;G01R31/308;G01R31/02;H01L21/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 20:09:40

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