公开/公告号SG146614A1
专利类型
公开/公告日2008-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号SG20080065708
发明设计人 BASELMANS JOHANNES JACOBUS MATHEUS;GREENEICH JAMES SHERWOOD;TROOST KARS ZEGER;BLEEKER ARNO JAN;
申请日2006-12-15
分类号
国家 SG
入库时间 2022-08-21 20:05:33