公开/公告号DE60225817D1
专利类型
公开/公告日2008-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMITOOL INC.;
申请/专利号DE20026025817T
申请日2002-07-23
分类号H01L21/302;H01L21/304;B08B3;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B6;B08B7;H01L21;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;H01L23/495;H05K3/34;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:47:50