要解决的问题:为了解决交互式学习控制可以通过重复试验来获得跟进误差较小的控制输入的问题,但是,当控制目标包含参数变化时,学习性能会降低,从而导致学习能力的提高。试用次数。解决方案:定位设备包括:检测部分,用于检测控制目标的位置;减法部分,用于从目标值中减去检测部分的输出;迭代学习控制电路,包括滤波器,其中输入检测部分的输出和目标值,并将控制输入前馈至控制目标,以及用于计算控制目标的参数变化的计算装置。响应于控制目标的参数的变化来改变滤波器的特性。
版权:(C)2009,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2009205641A
专利类型
公开/公告日2009-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON INC;
申请/专利号JP20080050126
发明设计人 TAKAGI KIYOSHI;
申请日2008-02-29
分类号G05B13/02;G05D3/12;H01L21/027;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:44:13