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Lithographic apparatus and method of cleaning a surface of an immersion lithographic apparatus

机译:光刻设备和清洁浸没式光刻设备的表面的方法

摘要

A method of cleaning a lithography apparatus using an aerosol spray is described. The spray from the aerosol is contained in a space.
机译:描述了一种使用气溶胶喷雾清洁光刻设备的方法。来自气溶胶的喷雾被包含在空间中。

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