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Phase-change memory device using Sb-Se metal alloy and method of fabricating the same

机译:使用Sb-Se金属合金的相变存储器件及其制造方法

摘要

Provided are a phase-change memory device using a phase-change material having a low melting point and a high crystallization speed, and a method of fabricating the same. The phase-change memory device includes an antimony (Sb)-selenium (Se) chalcogenide SbxSe100-x phase-change material layer contacting a heat-generating electrode layer exposed through a pore and filling the pore. Due to the use of SbxSe100-x in the phase-change material layer, a higher-speed, lower-power consumption phase-change memory device than a GST memory device can be manufactured.
机译:提供一种使用具有低熔点和高结晶速度的相变材料的相变存储器件及其制造方法。该相变存储器件包括与发热电极层接触的锑(Sb)-硒(Se)硫属化物Sb x Se 100-x 相变材料层通过毛孔暴露并填充毛孔。由于在相变材料层中使用了Sb x Se 100-x ,因此与GST相比,它是一种速度更快,功耗更低的相变存储设备可以制造存储设备。

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