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Optical element, method for manufacturing optical element and semiconductor laser device using the optical element

机译:光学元件,光学元件的制造方法以及使用该光学元件的半导体激光装置

摘要

The present invention provides an optical element which can reliably acquire a difference of refractive indices between a member under a photonic crystal layer and the crystal layer without using such a stacking technique as in conventional processes; a method for manufacturing the optical element; and a semiconductor laser device with the use of the optical element. The optical element has the first layer 500 and the second layer 400 formed on a substrate 100, wherein the second layer includes pores and has a refractive-index periodically changing structure in which a refractive index periodically changes in an in-plane direction; and the first layer has an oxidized region with a lower refractive index than the refractive index of the second layer, in a lower side of the pores of the second layer.
机译:本发明提供了一种光学元件,其能够可靠地获得光子晶体层下面的构件与晶体层之间的折射率差,而无需使用如常规工艺中那样的堆叠技术。光学元件的制造方法;使用该光学元件的半导体激光装置。光学元件具有形成在基板 100 上的第一层 500 和第二层 400 ,其中第二层包括孔并且具有折射折射率周期性变化的结构,其中折射率在面内方向上周期性地变化;所述第一层在所述第二层的孔的下侧中具有比第二层的折射率低的折射率的氧化区域。

著录项

  • 公开/公告号US7539226B2

    专利类型

  • 公开/公告日2009-05-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TATSURO UCHIDA;

    申请/专利号US20070677867

  • 发明设计人 TATSURO UCHIDA;

    申请日2007-02-22

  • 分类号H01S5/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 19:29:59

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