用于制造光学元件的磨削装置、光学元件的制造方法及对用于制造光学元件的模具或光学元件的形状/尺寸进行精密测定的精密测定装置

摘要

在大型望远镜等中装入大型光学元件的情况下，由于支撑状态、负载分布与在加工机的工件支撑夹具上载置有被磨削物的情况不同，在加工设备上安装的状态下测定出的表面形状与装入后的状态的表面形状不同，因此还未存在因自重而变形的光学元件的制造装置。本发明公开一种用于制造因自重而变形的光学元件的磨削装置，其为具有在磨削状态下和成为光学元件的被磨削物的与磨削面相对应的背面密接形状的工件支撑面的工件支撑夹具，所述磨削装置具备工件支撑夹具，其在工件支撑面上具备开放部，在中心轴朝向垂直方向的规定的孔配置位置上设置多个压电致动器内置孔，在各压电致动器内置孔中以自由升降的方式内置压电致动器及负载传感器。