公开/公告号US7485537B2
专利类型
公开/公告日2009-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 HERBERT L. HO;MAHENDER KUMAR;QIQING OUYANG;PAUL A. PAPWORTH;CHRISTOPHER D. SHERAW;MICHAEL D. STEIGERWALT;
申请/专利号US20060490326
发明设计人 MICHAEL D. STEIGERWALT;HERBERT L. HO;CHRISTOPHER D. SHERAW;QIQING OUYANG;PAUL A. PAPWORTH;MAHENDER KUMAR;
申请日2006-07-20
分类号H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/76;
国家 US
入库时间 2022-08-21 19:28:59