公开/公告号US7691716B2
专利类型
公开/公告日2010-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 HERBERT L. HO;MAHENDER KUMAR;QIGING OUYANG;PAUL A. PAPWORTH;CHRISTOPHER D. SHERAW;MICHAEL D. STEIGERWALT;
申请/专利号US20080144998
发明设计人 QIGING OUYANG;MICHAEL D. STEIGERWALT;HERBERT L. HO;CHRISTOPHER D. SHERAW;PAUL A. PAPWORTH;MAHENDER KUMAR;
申请日2008-06-24
分类号H01L21/331;H01L21/8222;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:48:15