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STENCILS WITH REMOVABLE BACKINGS FOR FORMING MICRON-SIZED FEATURES ON SURFACES AND METHODS OF MAKING AND USING THE SAME

机译：用于在表面上形成微缩特征的具有可拆卸底衬的模具及其制造和使用方法

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摘要

The present invention is directed to methods for patterning substrates using elastomeric stencils having removable backings and methods of preparing the stencils.

机译：本发明涉及使用具有可移除的背衬的弹性模板来对基板进行图案化的方法以及模板的制备方法。

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公开/公告号WO2009099417A1

专利类型
公开/公告日2009-08-13

原文格式PDF
申请/专利权人 NANO TERRA INC.;MERCK PATENT GMBH;CHAUHAN KARAN;MCLELLAN JOSEPH M.;AGARWAL SANDIP;MAYERS BRIAN T.;CARBECK JEFFREY;KUGLER RALF;KURSAWE MONIKA;
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申请/专利号WO2008US11096
发明设计人 KUGLER RALF;AGARWAL SANDIP;MCLELLAN JOSEPH M.;KURSAWE MONIKA;CHAUHAN KARAN;MAYERS BRIAN T.;CARBECK JEFFREY;
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申请日2008-09-25
分类号B41M3/00;H05K3/12;H01L51/00;H01L21/48;B41C1/14;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:17:26

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