要解决的问题:执行模型参数提取以消除模型的特征偏差。解决方案:模型参数提取器(1)包括:用于执行合并处理的合并处理单元(18);模型参数提取单元(11),其针对通过装仓处理形成的多个仓中的每个仓提取模型参数。模型参数提取单元(11)提取与目标箱的第一端(A)相对应的第一模型参数(P2A)。基于第一模型参数(P2A)设置与目标箱的第二端(B)相对应的第二模型参数(P2B)的候选(P2B')。基于第一模型参数(P2A)和第二模型参数的候选(P2B'),指定代表半导体器件电特性的有限曲线的起点侧梯度和终点侧梯度。然后,基于梯度之间的比较结果提取第二模型参数(P2B)。
版权:(C)2010,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2010122946A
专利类型
公开/公告日2010-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 NEC ELECTRONICS CORP;
申请/专利号JP20080296576
发明设计人 HATANAKA YUKICHI;
申请日2008-11-20
分类号G06F17/50;H01L21/82;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:04:06