公开/公告号CN107238786B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201710272323.X
申请日2017-04-24
分类号G01R31/26(20140101);
代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:42:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
授权
授权
2017-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20170424
实质审查的生效
2017-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20170424
实质审查的生效
2017-10-10
公开
公开
2017-10-10
公开
公开
2017-10-10
公开
公开
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