首页> 外国专利> Substrate surface structure of the perovskite-type oxide film and the substrate and perovskite-type oxide film

Substrate surface structure of the perovskite-type oxide film and the substrate and perovskite-type oxide film

机译:钙钛矿型氧化膜的基材表面结构以及钙钛矿型氧化膜的基材

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface structure of a substrate having excellent adhesion to a perovskite type oxide film which is formed on the surface of the substrate, and to provide the substrate and the perovskite type oxide film. SOLUTION: In the substrate on whose surface the perovskite type metal oxide is formed, an electrode layer contacting with the perovskite type metal oxide, an adhesion layer contacting with the surface oxide layer of the substrate and an alumina layer interposed between the adhesion layer and the electrode layer are provided.
机译:解决的问题:提供一种基材的表面结构,该基材对形成在基材表面上的钙钛矿型氧化物膜具有优异的粘附性,并提供基材和钙钛矿型氧化物膜。解决方案:在其表面形成钙钛矿型金属氧化物的基底中,与钙钛矿型金属氧化物接触的电极层,与基底的表面氧化物层接触的粘附层以及介于粘附层和金属氧化物之间的氧化铝层。提供电极层。

著录项

  • 公开/公告号JP4419332B2

    专利类型

  • 公开/公告日2010-02-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱マテリアル株式会社;

    申请/专利号JP20010029988

  • 发明设计人 曽山 信幸;藤田 悟史;牧 一誠;

    申请日2001-02-06

  • 分类号C01B13/14;C01B13/32;C01G25/00;C04B35/46;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L41/08;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 18:59:05

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号