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Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same

机译:纳米多孔α-氧化铝超细粉及其制备的溶胶-凝胶工艺

摘要

The present invention provides α-alumina powders comprising α-alumina particles of which at least 80% of the α-alumina particles have a particle size of less than 100 nm. The invention also provides slurries, particularly aqueous slurries, which comprise α-alumina powders of the invention. The invention further provides methods of manufacturing α-alumina powders and α-alumina slurries of the invention and methods of polishing using same.
机译:本发明提供包含α-氧化铝颗粒的α-氧化铝粉末,其中至少80%的α-氧化铝颗粒的粒径小于100nm。本发明还提供了浆料,特别是水性浆料,其包含本发明的α-氧化铝粉末。本发明进一步提供制造本发明的α-氧化铝粉末和α-氧化铝浆料的方法以及使用它们的抛光方法。

著录项

  • 公开/公告号US7638105B2

    专利类型

  • 公开/公告日2009-12-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 YUHU WANG;

    申请/专利号US20080228454

  • 发明设计人 YUHU WANG;

    申请日2008-08-13

  • 分类号C01F7/00;C23F1/00;H01L21/461;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:47:51

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