公开/公告号SG162621A1
专利类型
公开/公告日2010-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML HOLDING N.V.;
申请/专利号SG20080060139
发明设计人 JASON D. HINTERSTEINER;WENCESLAO A. CEBUHAR;ANDREW W. MCCULLOUGH;ARNO BLEEKER;SOLOMON S. WASSERMAN;
申请日2004-05-25
分类号G02B26/00;G02F1/00;G03B27/42;G03F7/20;H01L21/02;
国家 SG
入库时间 2022-08-21 18:44:28