公开/公告号EP1612848A4
专利类型
公开/公告日2009-11-11
原文格式PDF
申请/专利号EP20030786368
发明设计人 NISHIHARA KATSUNOBU;MATSUI RYOUJI;OKUNO TOMOHARU;MIYANAGA NORIAKI;UCHIDA SHIGEAKI;NAGAI KEIJI;NISHIMURA HIROAKI;NAKATSUKA MASAHIRO;SHIGEMORI KEISUKE;SHIMADA YOSHINORI;HIBINO TAKAHIRO;IZAWA YASUKAZU;NAKAI MITSUO;NORIMATSU TAKAYOSHI;MURAKAMI MASAKATSU;FURUKAWA HIROYUKI;SUNAHARA ATSUSHI;ZHAKHOVSKI VASILLI;YAMANAKA TATSUHIKO;
申请日2003-12-26
分类号H01L21/027;G03F7/20;G21K1/00;G21K5/02;H01J35/08;H05G1/00;H05G2/00;H05H1/24;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 18:40:38