公开/公告号WO2010116428A1
专利类型
公开/公告日2010-10-14
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION;MADOKORO YUICHI;ONISHI TSUYOSHI;AIZAWA MEGUMI;YOSHIZAWA YUKIO;
申请/专利号WO2009JP05580
申请日2009-10-23
分类号G01N1/28;H01J37/20;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:35:50