公开/公告号DE102009000823B3
专利类型
公开/公告日2010-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 GESELLSCHAFT FUER ANGEWANDTE MIKRO- UND OPTOELEKTRONIK MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG - AMO GMBH;NAGEL MICHAEL;WAECHTER MARKUS;
申请/专利号DE20091000823
发明设计人
申请日2009-02-12
分类号G01N21/35;G01R31/308;G01R1/07;H01L31/10;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 18:28:31