通过校准测量头的方向来获得表面形貌的光学测量方法以及具有测量头的测量装置

摘要

本发明涉及一种用于获得被测物体(2)的表面形貌(1)的光学测量方法。为此，提供一种测量装置(3)，测量装置(3)包括位于测量头导向装置(5)上的测量头(4)，用于表面形貌(1)的光谱共焦获得，或用于获得表面形貌(1)的光谱干涉OCT距离测量。光源(6)的光谱光从包括i个光纤(8)的光纤阵列(7)通过共用测量头镜片(10)以i个测量光斑(12至15)的形式施加到被测物体(2)上，其中，i个测量光斑(12至15)形成光斑阵列(11)。接着，获得i个测量通道的i个反射光谱，并将其数字化。通过计算系统测量误差的时间变化以及测量头导向装置(5)的时间诱导的偏差运动来估计所数字化的反射光谱，包括下列步骤：在时间t(j)，获得i个测量通道的几何距离值(a、b、c)，获得被测物体表面(16)上的i个测量光斑的三维位置值；获得被测物体表面(16)相对于包括投射到被测物体表面(16)上的三角形(17)的至少三个测量光斑(12、13、14)的测量头(4)的局部倾斜度，以校正测量值；通过测量头(4)上的三维加速度传感器将测量头导向装置(5)的时间诱导的偏差运动分离出去来关联局部形貌；生成校正的局部形貌。