坐标测量仪的测量头系统和测量头系统的扫描元件的位移的光学测量方法

摘要

本发明涉及用于坐标测量仪的测量头系统(1)，其具有：扫描元件(6)，其包括作为接触用部分(5)而用于接触被测对象的部分，该接触用部分可相对于固定的测量头底座(2)在横向的x方向(20)和y方向(21)上运动，从而可用该扫描元件(6)机械扫描待测对象。固定在测量头底座(2)上的光学传感器(10)，其包括由排成一行的多个传感器元件构成的可读传感器线列(11)。还设有相对接触用部分(5)空间固定不变地设置的机构，其用于以至少一个照射源(15)在传感器线列(11)上产生与接触用部分(5)相对测量头底座(2)的位移有关的投影。还设有分析计算单元。在此，所述机构具有至少一个第一掩模件(17)，该第一掩模件(17)用来在传感器线列(11)上产生第一分投影(51)，从而第一分投影(51)被优化来确定接触用部分(5)相对测量头底座(2)的在x方向或y方向上的x位移和y位移，所述分析计算单元设计成从仅由同一个传感器线列(11)产生的信号来确定x位移和y位移。