要解决的问题:提供一种用于测量线性物体的高度的装置,该装置可从通过吸收来自线性物体的反射光而创建的图像数据中准确检测线性物体的高度,而不受背景的影响。
解决方案:照明装置13用入射光i照射线性物体11(检查目标),并且反射光j被摄像机14捕获以生成图像数据。入射光i和反射光j的轴基本重合。灰度图像存储部17将由照相机14生成的图像数据存储为灰度图像数据。线性物体检测部18基于灰度图像数据检测线性物体11。高度测量范围确定部件19基于由线性物体检测部件18检测到的线性物体11的信息,确定线性物体的高度测量范围不超过线性物体11的占用面积。高度测量部件20基于线性物体的高度测量范围的灰度信息来测量线性物体11的高度。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2011058894A
专利类型
公开/公告日2011-03-24
原文格式PDF
申请/专利权人 NEC CORP;
申请/专利号JP20090207475
申请日2009-09-08
分类号G01B11/02;H01L21/60;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:23:10